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中国开始量产国产 DUV 芯片制造工具，本土芯片产业迎来突破 The Information报道称，一家中国国资背景的企业已开始制造 DUV 光刻机。这家总部位于上海的公司整合了来自其他中国企业的浸没式 DUV 研发团队，其中包括国资背景的初创企业上海宇量昇科技有限公司。这家上海公司计划今年制造约五台DUV光刻机，并在2027年生产约20台。知情人士称，这些DUV系统计划于今年交付给中国本土芯片制造商，包括中芯国际、华虹半导体和存储芯片制造商长鑫存储。 ▎Source

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